XPSの外観と原理は下画像のようになります。
※AIに作成させたイメージです
下記はXRFの時に掲示したX線を用いた分析機器のまとめです。今回はメルの化学状態を分析したいため、XPSを用いる方針としました。
③ XPS（X線光電子分光）
元素の化学状態はどうなっているか
- 試料にX線を照射する。
- 放出される光電子の運動エネルギーを測定する。
- 元素の化学結合状態や酸化状態を調べる。
分かること： Fe²⁺なのかFe³⁺なのか、金属状態なのか酸化物なのかなど。
① XRF（蛍光X線分析）
何の元素が含まれているか
- 試料にX線を照射する。
- 発生する蛍光X線のエネルギーから元素を特定する。
- 元素の含有量を定量できる。
分かること： Fe、Cu、Zn、Caなどの元素組成。
② XRD（X線回折）
どのような結晶構造なのか
- 試料にX線を照射する。
- 結晶によるX線の回折パターンを測定する。
- 結晶相や結晶構造を調べる。
分かること： 酸化鉄なのか、金属鉄なのか、結晶構造は何かなど。