集積回路と日光写真
連想ゲームみたいですが、ICカードの話をしたのでIC(集積回路)の製造方法について書いてみましょう。
IC(LSIもですが)は、極小のパターンで電気回路が構成されています。その
・ベースとなるシリコンウェハースに薄膜をコーティングします。
・その上に感光剤(レジスト)を薄く塗ります。
・パターンを印刷したマスクを通して、光(紫外線)をあてます。
・現像液を付けると、光が当たった(露光した)部分の薄膜が溶けてパターンを形成します。
・後処理を行い、レジストを剥がします。
こうしたプロセスを「フォトレジスト」と呼びます。若い人は知らないかもしれませんが、ある年代以上であれば、これがいわゆる「日光写真」と同じだと気が付くでしょう。原理的には同じですね。マスクして隠している部分は光に当たらないので感光せず、そのまま残るのです。
フォトレジストはICだけでなく、微細加工が必要な場合に用いられる一般的な方法です。たとえば、バイオ分野では、大腸菌を観測するために、シリコンの代わりに寒天にフォトレジストでパターンを作る、なんてことも行われています。
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