集積回路と日光写真

 連想ゲームみたいですが、ICカードの話をしたのでIC(集積回路)の製造方法について書いてみましょう。

 IC(LSIもですが)は、極小のパターンで電気回路が構成されています。その製造工程プロセスをざっくり説明すると以下のようになります。


・ベースとなるシリコンウェハースに薄膜をコーティングします。

・その上に感光剤(レジスト)を薄く塗ります。

・パターンを印刷したマスクを通して、光(紫外線)をあてます。

・現像液を付けると、光が当たった(露光した)部分の薄膜が溶けてパターンを形成します。

・後処理を行い、レジストを剥がします。


 こうしたプロセスを「フォトレジスト」と呼びます。若い人は知らないかもしれませんが、ある年代以上であれば、これがいわゆる「日光写真」と同じだと気が付くでしょう。原理的には同じですね。マスクして隠している部分は光に当たらないので感光せず、そのまま残るのです。


 フォトレジストはICだけでなく、微細加工が必要な場合に用いられる一般的な方法です。たとえば、バイオ分野では、大腸菌を観測するために、シリコンの代わりに寒天にフォトレジストでパターンを作る、なんてことも行われています。

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